东方集成科技在上海某研究所的成功安装就如同一位精通嵌入式工程师接私活网站上承诺的神奇工匠悄然变换了场
2012年3月，东方集成科技在上海某研究所的奋斗之旅达到了新的里程碑，那就是成功引入SENTECH SI500D等离子体沉积系统，这一高端设备如同一位精通嵌入式工程师接私活网站上承诺的神奇工匠，悄然变换了场景，让ICP-PECVD设备成为基片上沉积SiOx, SiOxNy或SiNy薄膜的灵魂。SI500D不仅能够简单地调节沉积薄膜的厚度、折射率和应力，还展现出连续可控的技术魅力。这是中国首次安装带有LOADLOCK功能的SI500D等离子沉积系统，其安装过程中，德国原厂技术支持工程师与东方集成工程师携手并进，一同完成了这项历史性的任务，而售后保修则由SENTECH和东方集成共同担起，这种合作模式无疑标志着一个新时代的开始。
本次成功案例不仅彰显了东方集成追求完美工作态度，也意味着SENTECH在中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务方面与东方集成紧密合作，从而开启了一段飞速稳定的发展篇章。
