光掩模KrF光源缺陷模拟仿真设备中标结果公告
项目名称：光掩模KrF光源缺陷模拟仿真设备 项目编号：0705-244121603126/01 招标范围：光掩模KrF光源缺陷模拟仿真设备 招标机构：上海国际招标有限公司 招标人：广州新锐光掩模科技有限公司 开标时间：2024-05-28 09:30 公示时间：2024-05-28 15:44 - 2024-05-31 23:59 中标结果公告时间：2024-06-03 08:56 中标人：卡尔蔡司(上海)管理有限公司 制造商：Carl Zeiss SMT GmbH 制造商国家或地区：德国
